高性能小型化磁传感器

成果名称：高性能小型化磁传感器

成果拥有单位：国防科学技术大学

成果简介：

高性能小型化磁传感器是一种能够实现地磁量级微弱磁场高分辨率探测的小型三轴磁传感器，它融合了最新的自旋电子技术和微纳系统技术，主要指标较同类传感器提高了1-2个数量级，达到国际先进水平。

该成果主要创新点包括：新机理与新材料：揭示并利用了电子自旋过滤与电场操控等磁敏感新机理，突破了新型隧穿磁电阻敏感材料的设计、制备及应用技术；新方法与新结构：提出了磁力线聚集调制、三维磁场平面化测量、磁场跟踪补偿等磁场调控新方法及其在微米尺度下的新型磁传感结构设计；新制造工艺：建立了一套兼容自旋电子、磁、机械、电等复杂微纳系统的传感器制造工艺；主要性能指标：测量范围：±100000nT；分辨力：<50pT；三轴非正交误差：0.01˚；探头尺寸：15mm×15mm×5mm。

该成果具有广阔的应用前景。可用于微纳卫星，提供姿态测量和控制所需的磁信息并监测空间磁场环境，增强卫星的任务执行能力；可用于车辆、船舶等磁性目标探测，大幅提升探测敏感能力；可用于无人机、水下潜航器等无人载具的地磁匹配导航，大幅提高其自主航行能力；该成果还可推广至高分辨力对地观测、地震预报、磁力勘探、生物电磁等领域。

合作方式：面议。

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