10月28日下午，湖南省创新创业大赛总决赛圆满落幕。我市企业湖南铠欣新材料科技有限公司“半导体设备用高纯碳化硅涂层关键零部件产业化”项目斩获初创企业组第三名，荣获二等奖。

湖南铠欣新材料科技有限公司成立于2019年4月，是一家致力于高端碳化硅陶瓷涂层及碳化硅陶瓷基复合材料研发和产业化的高科技企业。公司开发出的半导体设备使用的高纯碳化硅涂层关键零部件产品打破了国外企业在相关领域的长期垄断，产品技术水平在国内处于领先地位。

高纯碳化硅涂层关键零部件是芯片生产设备必需使用的消耗性零部件，产出的芯片应用广泛，涵盖了手机、电脑、5G、人工智能、电动汽车、轨道交通等领域。目前这种核心零部件主要依赖国外进口。项目技术团队依托自主开发的化学气相沉积高纯碳化硅涂层技术，自主开发生产设备，将工艺与装备进行充分融合，突破了产业化的瓶颈。

未来三年，公司将持续扩大产能，项目预计三年后将形成年产半导体设备用高纯碳化硅涂层石墨零部件3000套，年产值1.5亿元的规模。（益阳市科技局高新技术发展与成果转化科 李学高）