纳米精度光学零件制造技术

成果名称：纳米精度光学零件制造技术

成果拥有单位：国防科学技术大学

成果简介：

纳米精度光学零件制造技术是针对高分辨率空间相机、高功率激光武器等装备所涉及的大型光学镜面先进制造的瓶颈问题所建立的高效高精度光学制造创新理论和高端制造装备及工艺，包括磁流变抛光技术和离子束抛光技术。磁流变抛光技术基本原理是通过磁流变抛光液进入抛光区后在高梯度磁场作用下产生的剪切力去除表面材料，达到抛光、修形的目的，其去除函数稳定、表面/亚表面损伤小、加工效率高、加工面形适应性好、加工周期可预测和加工自动化程度高，适合抛光轻质、薄形、异形等各类复杂的光学零件。离子束抛光技术基本原理是在真空环境中用离子束轰击工件表面，利用轰击时发生的物理溅射效应去除表面材料，达到修正面形误差的目的。由于材料去除原理特殊，离子束修形具有许多优点。两种抛光技术指标均达到国际先进水平，部分技术指标为国际领先。

该成果为我国自主开展光刻光学系统制造技术研究奠定了坚实的基础，是我国高端制造装备的一个重大突破，标志我国光学加工进入纳米精度的世界先进水平；通过采用自主知识产权的设备和工艺进行升级换代，促进了行业的科技进步，具有广阔的应用前景和巨大的经济效应。

合作方式：面议。

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