MIP系列多功能离子镀膜技术与设备

成果名称：MIP系列多功能离子镀膜技术与设备

成果拥有单位：中国科学院力学研究所

所属技术领域：电子信息技术,其它

成果简介：   

MIP系列多功能离子镀膜技术与设备是当代最新表面处理方法之一。 采用低电压、大电流真空电弧技术和中频磁控溅射技术相结合的方法(物理气相沉积PVO技术)，直接将阴极材料(被蒸镀材料)蒸发井离化，形成高度电离的等离子体束，这些高能粒子在工件偏压的作用下，沉积在工件表面上，生成各种金属薄B莫{如铜、铝、铁等)。当通入反应气体，如N2或C2H2时，可以生成各种氢化物或碳化物薄膜(如TiN， (TiAI)N， CrN， ZrN或TiC，TiNxCy和类金刚石等)，多层膜、复合膜、纳米硬质膜等、牢固地涂敷在工件表面上，可以使金属表面改性、提高零件的耐磨、耐腐蚀性能，改善表面的瘦劳断裂性能。

我所研制的该项技术与设备达到国际先进水平，为国内领先水平。1991年即通过了院级鉴定，被国家科委列为93年度国家级科技重点推广项目，至今得到了更加广泛的应用，己售出的设备受到用户的好评，获得了很好的社会效益和经济效益。

应用领域：

PVO离子镀技术应用于航空、航天、现代机械加工、化工、轻工、日用五金等领域，涂层种类主要包括丁iN;有CN; TiALN; AITiN; CrN; AITiN +OLC;有CN +OLC;刀具涂层;模具涂层;汽车部件涂层;医疗器械涂层; 纺织部件无油耐磨涂层;装饰涂层等。

技术指标：

MIP系列多功能离子镀膜技术与设备，包括: MIP-4 MIP -6 MIP-8 MIP-12等多功能离子镀膜设备

成熟程度及应用前景：

目前国内已经形成产业化应用，在深圳的离子镀装饰涂层产品，已成为国际品牌钟表公司涂层零件加工基地和手机零件加工基地。国内各大工具公司纷纷引入国外著名的涂层公司设备，如瑞士的balzersi公司、Sadvik公司、德国的comecon公司和PVT公司等，设立涂层生产服务中心。潜在的市场应用前景广阔。

合作方式：技术转移用户，成立公司、研究中心、联合实验室等